凈化系統(tǒng)工程需滿足集成電路、光學(xué)系統(tǒng)組裝等對(duì)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的要求,主要對(duì)塵埃粒子進(jìn)行控制,根據(jù)需要選用不同的潔凈級(jí)別。
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